| 低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析 |
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| 作者姓名： | 鲍俊峰 曹钟慧 袁野 邹勇卓 吴兴坤 |
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| 作者单位： | 浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗<0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术。应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较。
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| 关 键 词： | 微光电子机械系统(MOEMS) 光开关 电火花加工(EDM) 光纤通信 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)01-0041-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-14 |
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