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| SiC材料与器件 | |
| 引用本文： | 袁明文. SiC材料与器件[J]. 微纳电子技术, 2001, 38(2): 1-6 |
| 作者姓名： | 袁明文 |
| 作者单位： | 河北半导体研究所,专用集成电路国家级重点实验室,河北,石家庄,050051 |
| 摘 要： | 介绍了碳化硅材料和器件的最新进展 |
| 关 键 词： | 碳化硅 材料 器件 |
| 文章编号： | 1001-5507(2001)02-0001-06 |
| 修稿时间： | 2000-07-17 |
SiC materials and devices |
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| YUAN Ming wen. SiC materials and devices[J]. Micronanoelectronic Technology, 2001, 38(2): 1-6 | |
| Authors: | YUAN Ming wen |
| Abstract: | The characterization of materials and performance of SiC devices are reviewed in this paper. |
| Keywords: | SiC material device |
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