X射线光束线用小型椭圆弯曲型反射镜的预调节 |
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引用本文: | 张俊平.X射线光束线用小型椭圆弯曲型反射镜的预调节[J].光机电信息,1996,13(6):4-7. |
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作者姓名: | 张俊平 |
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摘 要: | X射线光束线用反射镜在永久性放入光束线之前,必须经过检测以保证达到设计要求,在反射镜半径需要调节的情况下,调节机构需在光束线外设置且通常将反射镜弯成为柱面,这很难用于干涉法测量。LTP是一种表面轮廓仪,适合于测量半径较长的柱面。在弯型(亦即半径调节)反射镜放入光束线之前,可用LTP测量来辅助完成调节。本文主要介绍这种 压弯型反射镜的调节方法及表面质量评价办法,给出一小型反射镜弯曲调节为椭圆柱面的结
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关 键 词: | X射线光束线 反射镜 光学仪器 |
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