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硅业副产物四氯化硅在离子液体中溶解—-电沉积的研究
引用本文:李 晓,张承龙,巫亮,马恩,王瑞雪,苑文仪,白建峰,王景伟.硅业副产物四氯化硅在离子液体中溶解—-电沉积的研究[J].有色金属(冶炼部分),2019(4):68-72.
作者姓名:李 晓  张承龙  巫亮  马恩  王瑞雪  苑文仪  白建峰  王景伟
作者单位:上海第二工业大学资源循环科学与工程中心;上海电子废弃物资源化协同创新中心;上海大学理学院物理系
基金项目:国家自然科学基金资助项目(51474146);上海第二工业大学校重点学科(XXKZD1602);上海第二工业大学研究生项目基金(EGD17YJ0002)
摘    要:研究多晶硅工业的主要副产品四氯化硅(SiCl_4)在离子液体中的溶解、电沉积过程。结果表明,SiCl_4在离子液体中的溶解度随温度升高而降低,离子液体的导电率随温度升高而增加。在阴离子为TNf_2]的情况下,阳离子为N_(1114)]的季铵盐类离子液体比咪唑类Bmim]离子液体具有更好的SiCl_4溶解度和导电性。SiCl_4在季铵盐类离子液体的溶解度随烷基主链长度增加而增大,随侧链长度增加而降低。N_(1114)]TNf_2]和SiCl_4之间形成C-Cl、Si-O和C-Si键,在N_(1114)]TNf_2]-SiCl_4体系中S_i~(4+)的还原电位为-2.2V。在温度25℃、SiCl_4浓度0.3mol/L、电流密度20A/m~2、电解时间2h的条件下可电沉积得到较为致密的硅薄膜,呈球形颗粒状分布。

关 键 词:四氯化硅  离子液体  溶解  电沉积
收稿时间:2018/12/24 0:00:00
修稿时间:2018/12/26 0:00:00

Study on Dissolution-Electrodeposition of Silicon Dichloride By-products Tetrachloride in Ionic Liquids
lixiao,ZHANG Cheng-long,Wu liang,Ma en,Wang Ruixue,Yuan Wenyi,Bai Jianfeng and Wang Jingwei.Study on Dissolution-Electrodeposition of Silicon Dichloride By-products Tetrachloride in Ionic Liquids[J].Nonferrous Metals(Extractive Metallurgy),2019(4):68-72.
Authors:lixiao  ZHANG Cheng-long  Wu liang  Ma en  Wang Ruixue  Yuan Wenyi  Bai Jianfeng and Wang Jingwei
Affiliation:WEEE Research Centre of Shanghai Polytechnic University,,,,,,,
Abstract:
Keywords:silicon tetrachloride  ionic liquid  dissolution  electrodeposition
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