面向窄引脚功率器件的负载牵引去嵌方法 |
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引用本文: | 郭跃伟,孔令旭,卢啸,段磊,崔健.面向窄引脚功率器件的负载牵引去嵌方法[J].半导体技术,2023(6):512-518. |
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作者姓名: | 郭跃伟 孔令旭 卢啸 段磊 崔健 |
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作者单位: | 河北博威集成电路有限公司 |
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基金项目: | 河北省科技计划项目(20310401D); |
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摘 要: | 传统的功率器件负载牵引测试忽略了器件引脚与预匹配电路间的不连续性电抗效应并引发阻抗偏移误差,该误差在窄引脚功率器件上更为显著。为了解决该问题,提出了一种考虑引脚不连续性电抗效应的新去嵌方案,先基于器件引脚尺寸设计独立校准系统并获取校准件传输参数,再通过校准件与预匹配电路的级联和参数处理将不连续效应叠加入预匹配电路传输参数中,使负载牵引测试数据端面从预匹配电路同轴端口端面去嵌到功率器件引脚根部端面,获取功率器件本身的精准阻抗测试数据。实验结果表明,利用该方案测定负载牵引阻抗具有较高的精度,匹配后的双边扁平无引脚(DFN)封装功率器件在5.8~7.2 GHz工作频率下饱和输出功率达43.6~44.6 dBm,功率附加效率达到40%~47%,20 dBm输入功率下增益为13.1~15.5 dB,性能较传统去嵌方法提升明显。
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关 键 词: | 负载牵引 预匹配 不连续性电抗效应 去嵌入 功率器件 |
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