| 烧结温度对BaxSr1-xTiO3薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 李纪标,翟学良,申玉双,杨芙丽. 烧结温度对BaxSr1-xTiO3薄膜性能的影响[J]. 电子显微学报, 2005, 24(4): 354-354 |
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| 作者姓名： | 李纪标 翟学良 申玉双 杨芙丽 |
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| 作者单位： | 1. 河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016
2. 河北化工医药职业技术学院,河北,石家庄,050031 |
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| 基金项目： | 河北师范大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | Ba、Sr0.3TiO3具有优良的介电和热释电性质，特别是可以通过改变组分来调节居里点，使其在动态随机存储器（DRAM）和红外探测器方面有着广泛的应用前景。制备薄膜的方法很多，如射频磁控贱射法、激光沉积法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶（Sol-Gel）法等。本文用溶胶-凝胶法以乙二醇甲醚为溶剂制备出BST薄膜，并用SPM对BST薄膜进行表征，得出对薄膜进行热处理的最佳条件及掺杂对薄膜表面形象的影响。
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| 关 键 词： | BaxSr1-xTiO3 薄膜性能 烧结温度 溶胶-凝胶法 动态随机存储器 化学气相沉积法 Sol-Gel BST薄膜 热释电性质 |
Effects of sintering temperature on properties of Bax Sr1-x TiO3 film |
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| LI Ji-biao,ZHAI Xue-liang,SHEN Yu-shuang,YANG Fu-li. Effects of sintering temperature on properties of Bax Sr1-x TiO3 film[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2005, 24(4): 354-354 |
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| Authors: | LI Ji-biao ZHAI Xue-liang SHEN Yu-shuang YANG Fu-li |
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