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| 单晶硅磨面倒圆专用磨床简介 | |
| 引用本文： | 徐公志,胡苗.单晶硅磨面倒圆专用磨床简介[J].精密制造与自动化,2019(4). |
| 作者姓名： | 徐公志 胡苗 |
| 作者单位： | 青岛高测科技股份有限公司 山东青岛 266114;淄博市淄川区工业和信息化局 山东淄博 255100 |
| 摘 要： | 介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的单晶硅磨面倒角磨床,可用于磨削单晶硅开方后的四平面和圆弧角,可以收到理想的效果。 |
| 关 键 词： | 单晶硅 四平面 磨面倒角 磨床 |
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