半导体功率器件测试用脉冲高压源的设计与实现

为满足精密测温需求，解决标准光电高温计测温结果易受环境温度影响的问题，设计多点控温系统，该系统通过多点布控的方式实现内层壳体整体控温，应用薄膜加热片作为控温元件，并采用自主设计的控温电路。开展试验对该系统的控温稳定性、重复性以及标准光电的测温稳定性进行了验证，结果表明多点控温系统稳定后2.5 h波动0.09 ℃，三天控温重复性0.1 ℃。室温环境下，应用标准光电高温计测试银固定点黑体辐射源，使用多点控温系统与不使用多点控温系统时的测温波动分别为0.1 ℃和0.7 ℃。本文研制的标准光电高温计多点控温系统具有稳定性好、体积小、重量轻、易于控制等优点，能够有效满足标准光电高温计的精密测温需求，为促进国产精密测温仪器的性能提升起到推动作用。