半导体功率器件测试用脉冲高压源的设计与实现

为满足功率半导体器件参数测量中对脉冲高压源输出脉冲幅值和宽度的需求，基于Marx发生器原理设计了一脉冲幅值和宽度连续可调的脉冲高压源，用以对功率半导体器件参数的快速测量。该脉冲高压源通过改进Marx发生器基本结构，采用双电源充电模式，减小了脉冲发生器的充电时间；采用同步放电电路，提高了脉冲电压的输出精度；在此基础上，采用快恢复二极管隔离每级Marx电路，降低了充电损耗。通过控制双电源充电电压和放电回路中固态开关导通时间，实现了输出脉冲电压幅值和宽度连续可调。实验结果表明，该脉冲高压源在脉冲幅值0～8000 V和脉冲宽度200～1000μs之间连续可调，上升时间为35 ns，可满足功率半导体器件参数快速测量的需求。