金属表面快速放气过程的测量

在真空系统中,对于各种金属表面发生的气体成份快速变化过程的质谱分析工作,使用笔式记录仪由于反应时间较长,已不能完成记录任务;使用普通电子示波器能观察到质谱变化,但照像记录比较麻烦。本文叙述了采用光线示波器配合四极质谱计记录气体成份快速变化过程的质谱,取得了初步结果。