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| SF—3A型石英晶体膜厚监控仪 | |
| 引用本文： | 薛大同,魏向荣,任晓虹,程玉峰.SF—3A型石英晶体膜厚监控仪[J].真空与低温,1987(3). |
| 作者姓名： | 薛大同 魏向荣 任晓虹 程玉峰 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 以往研制的各种石英晶体膜厚监控仪.都不同程度的保留了模拟电路.不仅限制了频率检测的精度.而且未解决频率变化与质量厚度非线性关系所造成的测厚误差问题.SF-3A 型石英晶体膜厚监控仪的主要设计思想是:提高晶体切角精度.采用孪生晶体技术,大大改善频温特性;选用小的电极面积和开孔.减小频漂:选择考毕兹振荡电路和二极管大讯号混频电路.以提高可靠性;检测电路都作数字化处理.提高检测精度.避开了频率变化与质量厚度非线性关系的问题.研制的 SF-3A 频漂小.运用温度范围宽.具有若干状态监测点和数据保护手段.性能指标达国外同类产品水平.介绍了仪器的电路原理和使用方法. |
| 关 键 词： | 晶体材料 复层厚度测量 监测仪 |
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