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非接触表面粗糙度测量仪
作者姓名:童敏 曹树平
摘    要:本文介绍了一种以半导体激光器作为光源,CCD作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪,对仪器的测量原理,仪器的结构进行了讨论,用该仪器对标准样品进行了实际测量,得到了与实际相符的结果。

关 键 词:表面粗糙度 半导体激光器 非接触测量
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