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| 一种新型的表面粗糙度非接触测量系统 | |
| 作者姓名： | 余慧 谢铁邦 |
| 作者单位： | 华中理工大学精密仪器系 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新型的用于表面粗糙度非接触测量系统，该系统能用于软金属材料工程表面，纸张、木材、橡胶等非金属表面，光学元件、集成电路表面以及皮肤、动植物等表面的表面粗糙度测量。 |
| 关 键 词： | 表面粗糙度光针焦点跟踪系统 音圈电机 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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