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基于Polymer/SiO_2的快速低功耗可变光衰减器的研制
作者姓名:曲禄成  梁磊  孙健  王希斌  王菲  张大明
作者单位:吉林大学电子科学与工程学院;集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区;吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室;
基金项目:国家自然科学基金(61177027;61261130586);吉林省科技发展计划(20140519006JH)
摘    要:为了有效改善基于无机材料的可变光衰减器(VOA)功耗大以及全聚合物VOA响应速度慢的问题,设计并研制了一种基于有机聚合物/无机SiO2材料的马赫曾德尔干涉仪(MZI)型VOA器件。根据脊型波导结构的单模传输条件,设计并优化了单模波导的截面尺寸,同时对器件结构进行了模拟,采用光刻和显影等工艺制备出功耗较低、响应速度快的VOA器件。在1550nm通信波长下,器件的衰减范围为23dB,最大功耗仅为14mW,器件的上升时间为252μs,下降时间为384μs。实验结果表明,采用有机/无机混合波导结构,并通过对器件结构参数的优化,可以实现功耗低且响应快速的VOA器件。

关 键 词:光学器件  可变光衰减器  热光效应  聚合物  马赫-曾德尔干涉仪
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