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| 加速度计与MEMS明日之星 | |
| 引用本文： | 欧敏铨. 加速度计与MEMS明日之星[J]. 电子产品世界, 2007, 0(12): 137-139 |
| 作者姓名： | 欧敏铨 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 微机电系统（MEMS）在发展了近四十年后，近来因为游戏机（Wii、PS3）、手机（iPhone）、MP3（iPod touch）等消费性电子产品的应用，终于划下时代性的一刻，成功打入产量最大的消费性市场。这对于微机电产业来说无疑是值得庆贺的时刻，因为有太多的研发心力已投入这项将微机械与微电子工程融合的微机电设计诉求之上，如今总算看到令人欣慰的一些成果。 |
| 关 键 词： | MEMS 加速度计 消费性电子产品 微机电系统 微电子工程 机电产业 机电设计 游戏机 |
Accelerometer and Future Star of MEMS |
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