| 深亚微米精度电感位移传感器及测量电路研究 |
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| 引用本文： | 刘晓,赵辉,刘伟文,俞朴.深亚微米精度电感位移传感器及测量电路研究[J].传感技术学报,2006,19(6):2428-2431. |
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| 作者姓名： | 刘晓 赵辉 刘伟文 俞朴 |
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| 作者单位： | 上海交通大学检测技术及仪器系,上海,200240;上海交通大学检测技术及仪器系,上海,200240;上海交通大学检测技术及仪器系,上海,200240;上海交通大学检测技术及仪器系,上海,200240 |
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| 摘 要： | 针对传统电感传感器及其测量系统难于同时满足测量精度和采样速度的现状,提出一种适合动态位移超精测量方法.采用半桥式电感传感器作测量探头,利用集成信号调理电路和△-∑型AD转换器,将高速过采样和平均滤波有机融和,实现了动态微位移的精密测量.实验结果表明,该方法在保障100 Hz速度的前提下,测量稳定性优于士0.01μm.
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| 关 键 词： | 电感传感器 动态位移 深亚微米 过采样 平均滤波 |
| 文章编号： | 1004-1699（2006）06-2428-04 |
| 收稿时间： | 2005-12-28 |
| 修稿时间： | 2005年12月28日 |
Inductive Sensor and Its Circuit for Dynamic Displacement
with Deep-Submicron Accuracy |
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| Liu Xiao,Zhao Hui,Liu Wei-wen,Yu Pu.Inductive Sensor and Its Circuit for Dynamic Displacement
with Deep-Submicron Accuracy[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(6):2428-2431. |
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| Authors: | Liu Xiao Zhao Hui Liu Wei-wen Yu Pu |
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| Affiliation: | Department of Instrumentation Engineering, Shanghai Jiao Tong University, 200030 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inductive sensor dynamic displacement deep-submicron over-sample average filtering |
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