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| 长度计量基础知识讲座(三十四) | |
| 引用本文： | 顾耀宗.长度计量基础知识讲座(三十四)[J].上海计量测试,2012(3):55-56. |
| 作者姓名： | 顾耀宗 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 摘 要： | 第三十四讲干涉显微镜1结构和工作原理干涉显微镜(以下简称仪器)主要由主体、工作台、干涉头、测微目镜、照明系统和摄影系统等部分组成。图1为常用的双光束干涉显微镜的结构形式。仪器基于等厚干涉测量平面度的原理,将同一光源发出的光线分为两束或多束,使其产生干涉。显微镜系统将干涉条纹放大,根据干涉条纹的间距 |
| 关 键 词： | 干涉显微镜 干涉条纹 工作台 双光束 多光束干涉 测微目镜 摄影系统 等厚干涉 分度线 工作原理 |
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