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| 接触式干涉仪的调整和修理 | |
| 引用本文： | 沈瑶琼.接触式干涉仪的调整和修理[J].上海计量测试,2012(4):43-45,47. |
| 作者姓名： | 沈瑶琼 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 摘 要： | 0引言
接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准确度定位。在一般计量部门．接触式干涉仪较多地使用于检定和校准3、4等量块。 |
| 关 键 词： | 接触式干涉仪 修理 调整 高准确度 干涉原理 计量部门 比较法 测量 |
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