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| 用深能级瞬态谱作器件失效机理分析 | |
| 引用本文： | 张安康.用深能级瞬态谱作器件失效机理分析[J].电子器件,1987(1). |
| 作者姓名： | 张安康 |
| 摘 要： | 深能级瞬态谱(DLTS)是一种研究半导体深能级、界面态、非晶态、检测分析微量深能级杂质和缺陷的重要技术.本文利用DLIS技术,对器件的失效机理作分析探讨得到以下两点体会:(1)用DLTS技术,不必将失效器件启封,就可以区别是属于体内失效还是表面失效,为进一步开展失效机理分析提供了重要的信息;(2)对于由深能级杂质影响电参数的器件,采用DLTS技术,可以有效地进行失效机理分析. |
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