|
|||||
|
|
| 金-锗合金的升温速率对 n 型砷化镓欧姆接触特性的影响 | |
| 作者姓名： | Naoki Yokoyama 晓白 |
| 摘 要： | 将 Au-Ge 接触合金到 n 型砷化镓上已被广泛地用作欧姆接触。对于接触特性来说,合金周期内的升温速率是重要的因素.本文报导了升温时间对欧姆接触性质的影响和用扫描电子显微镜(SEM)及电子探针微分析器(EPMA)对再生长层的观察结果。在掺铬的砷化镓半绝缘衬底上面,用 Ga-AsCl_3-N_2系统的气相反应法淀积 n 型砷化镓外延层,外延层厚度为0.4微米,掺杂浓度为3×10~(16)原子/厘米~3。用蒸发方法在 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |