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| 由时间飞行光谱技术测量激光制膜过程中出射粒子的飞行速度 | |
| 引用本文： | 范永昌,安承武,陆冬生,李再光.由时间飞行光谱技术测量激光制膜过程中出射粒子的飞行速度[J].量子电子学报,1991(1). |
| 作者姓名： | 范永昌 安承武 陆冬生 李再光 |
| 作者单位： | 华中理工大学激光技术国家实验室 430074 (范永昌，安承武，陆冬生)，华中理工大学激光技术国家实验室 430074(李再光) |
| 摘 要： | 激光烧蚀沉积法是近几年迅速发展起来的新型高温超导薄膜以及超导微电子器件制备的一项重要工艺。实验研究表明,采用这种沉积方法能够实现超导薄膜的原位低温外延生长,进而易于获得性能优良的超导膜,其原因除了在制膜过程中靶面上各种元素具有 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |