|
|||||
|
|
| 面向100GHz+数模混合电路的0.5μm InP DHBT工艺 | |
| 作者姓名： | 程伟 张有涛 王元 牛斌 陆海燕 常龙 谢俊领 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所 |
| 摘 要： | 本文报道了一种高性能的3英寸磷化铟双异质结双极型晶体管工艺。发射极尺寸为0.5×5μm2的磷化铟双异质结双极型晶体管，电流增益截止频率以及最高振荡频率分别达到350GHz以及532GHz，击穿电压4.8V。基于该工艺研制了114GHz静态分频器以及170GHz动态分频器两款工艺验证电路，这两款电路的工作频率处于国内领先水平。 |
| 关 键 词： | 磷化铟 双异质结晶体管 分频器 |
| 收稿时间： | 2016-04-05 |
| 修稿时间： | 2016-11-29 |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 | |