| 一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究 |
| |
| 引用本文： | 朱常兴,李勇,陈旭鹏,叶雄英,周兆英. 一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 99-101 |
| |
| 作者姓名： | 朱常兴 李勇 陈旭鹏 叶雄英 周兆英 |
| |
| 作者单位： | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.
|
| 关 键 词： | MEMS 微型阀 微小流量控制 电磁致动器 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0099-03 |
| 修稿时间： | 2005-04-05 |
Research on a Miniature Valve Driven by an Electromagnetic Actuator |
| |
| Zhu Changxing,Li Yong,Chen Xupeng,Ye Xiongying,Zhou Zhaoying. Research on a Miniature Valve Driven by an Electromagnetic Actuator[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 99-101 |
| |
| Authors: | Zhu Changxing Li Yong Chen Xupeng Ye Xiongying Zhou Zhaoying |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
