| 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性 |
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| 引用本文： | 岳东旭,于虹,袁卫民. 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性[J]. 光学精密工程, 2011, 19(4): 783-788. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0783 |
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| 作者姓名： | 岳东旭 于虹 袁卫民 |
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| 作者单位： | 东南大学电子科学与工程学院MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家973重点基础研究发展计划资助项目，国家863高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制.采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线.测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应(即"弹簧变软"效应).实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显...
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| 关 键 词： | 静电驱动 悬臂梁谐振器 非线性 频率响应 |
Nonlinear characteristics of sub-micron cantilever beam resonators actuated by statical electricity |
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| YUE Dong-xu,YU Hong,YUAN Wei-min. Nonlinear characteristics of sub-micron cantilever beam resonators actuated by statical electricity[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(4): 783-788. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0783 |
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| Authors: | YUE Dong-xu YU Hong YUAN Wei-min |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, School of Electronic Science and Engineering,Southeast University,Nanjing 210096,China) |
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