| 大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法 |
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| 引用本文： | 陈代谢,殷伯华,林云生,初明璋,韩立.大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法[J].光学精密工程,2011,19(4):836-843. |
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| 作者姓名： | 陈代谢 殷伯华 林云生 初明璋 韩立 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院电工研究所微纳加工研究部,北京,100190 |
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| 基金项目： | 中国科学院仪器改造资助项目 |
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| 摘 要： | 为了扩大原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)使用范围,研制了一套大范围高速AFM系统.针对大范围高速扫描时Z方向控制问题,提出了前馈反馈混合控制方法.前馈控制包括自动调平前馈和基于前一行扫描前馈,前者通过多线扫描确定样品倾斜位置,将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达,然后将其换算为Z向...
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| 关 键 词： | 原子力显微镜(AFM) 高速扫描 Z向控制 前馈反馈混合控制 |
Feed-forward and feed-back controller for large-range and high-speed AFM |
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| CHEN Dai-xie,YIN Bo-hua,LIN Yun-sheng,CHU Ming-zhang,HAN Li.Feed-forward and feed-back controller for large-range and high-speed AFM[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(4):836-843. |
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| Authors: | CHEN Dai-xie YIN Bo-hua LIN Yun-sheng CHU Ming-zhang HAN Li |
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| Affiliation: | 1.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China; 2.Department of Micro-nano Fabrication Technology, Institute of Electrical Engineering,Beijing 100190,China) |
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