| 大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量 |
| |
| 引用本文： | 陈中,丁振良,袁峰. 大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量[J]. 激光杂志, 2000, 21(2): 26-27 |
| |
| 作者姓名： | 陈中 丁振良 袁峰 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学惯导测试设备研究中心!哈尔滨150001 |
| |
| 摘 要： | 本文研究了大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量方法。指出在长干涉光路中 ,空程误差是一个主要误差因素 ,同时分析了空程误差与环境状况的关系。本文研究中设计了一种真空管 ,有效地克服了空程误差的影响 ,在通常的环境条件下 ,对于大型构件的尺寸微小变化的测量 ,获得了高于 3× 10 -8的相对精度。
|
| 关 键 词： | 大型构件 激光干涉测量 真空管 空程误差 |
High accuracy measurement of dimensional mini-changes of large-size component with laser interferometry |
| |
| Chen Zhong,Ding Zhenliang,Yuan Feng. High accuracy measurement of dimensional mini-changes of large-size component with laser interferometry[J]. Laser Journal, 2000, 21(2): 26-27 |
| |
| Authors: | Chen Zhong Ding Zhenliang Yuan Feng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | large size component laser interferometric measurement vacuum pipe deadpath error |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
