MIS结构碲镉汞在红外成象电荷转移器件中的应用

电荷转移器件在红外探测器镶嵌列阵信号读出和处理中的应用,使我们能够预见一代新的传感器,其敏感元数将大大增加。在各种可能选择的方法中,确定研究在低“能隙”半导体材料蹄镉汞上制备的单片器件。碲镉汞特别适合于3～5微米和8～14微米波段的红外探测,这是众所周知的。达到这些目的的关键是在光谱窗口、半导体材料的类型、工作温度、寻址和读出方式、信号处理等限制条件中作最佳选择。本文第一部分叙述通过电荷转移进行读出的矩阵的基本结构模型。这种MIS元件探测红外辐射并积分产生的电荷。要实现这两种功能,必须改进红外系统的设计。根据研究这种模型的结果,可以预计这些器件的性能。第二部分叙述二维矩阵的寻址和读出方式。比较电荷注入器件和电荷耦合器件,根据工艺和材料性质,择优选取。参照上述结果,讨论实现这样一个矩阵所作的可能择选。最后介绍实现8×8元矩阵的方案。