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| 发光二极管外延片质量控制的新方法 | |
| 引用本文： | 苏哲,董占民,韩立,陈浩明.发光二极管外延片质量控制的新方法[J].半导体学报,2002,23(12). |
| 作者姓名： | 苏哲 董占民 韩立 陈浩明 |
| 作者单位： | 清华大学物理系,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法.通过对检测结果的统计分析,得出了对生产工艺的改进意见.最终实现了提高GaP外延片质量的目的. |
| 关 键 词： | 外延片 光致发光 无损检测 |
New Method of Quality Controlling of LED Epi-Wafers |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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