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| 基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟 | |
| 引用本文： | 张佩君,黄庆安.基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟[J].半导体学报,2002,23(4). |
| 作者姓名： | 张佩君 黄庆安 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心,南京,210096 |
| 摘 要： | 根据硅各向异性腐蚀特点,在硅各向异性腐蚀速率图基础上,提出算法,利用数学软件MATLAB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程.程序从二维掩膜描述出发,找到相关晶面,产生动态的三维几何结构的输出.并推导出凸角补偿时补偿条的相关尺寸.其结果对MEMS加工有一定参考价值. |
| 关 键 词： | 硅 各向异性腐蚀 MATLAB 模拟 |
Simulation of Anisotropic Etching of Silicon Based on MATLAB |
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| Keywords: | |
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