| 微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究 |
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| 引用本文： | 朱俊华,周兆英,叶雄英,张大成,郝一龙,李婷. 微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究[J]. 微细加工技术, 2001, 1(1): 53-56 |
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| 作者姓名： | 朱俊华 周兆英 叶雄英 张大成 郝一龙 李婷 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学精密仪器系,
2. 北京大学微电子学研究所, |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计，对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm)，并且在薄膜的两面都制作了图形结构，拓展了微机械工艺的加工能力
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| 关 键 词： | 微机械 磁强计 隧道效应 设计 加工工艺 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)01-0053-04 |
| 修稿时间： | 2000-06-08 |
Design of Micro TunnelingMagnetometer and Research on its Fabrication Process |
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| ZHU Jun?hua,ZHOU Zhao?ying,YE Xiong?ying,ZHANG Da?cheng,HAO Yi?long,LI?Ting. Design of Micro TunnelingMagnetometer and Research on its Fabrication Process[J]. Microfabrication Technology, 2001, 1(1): 53-56 |
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| Authors: | ZHU Jun?hua ZHOU Zhao?ying YE Xiong?ying ZHANG Da?cheng HAO Yi?long LI?Ting |
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| Affiliation: | ZHU Jun?hua1,ZHOU Zhao?ying1,YE Xiong?ying1,ZHANG Da?cheng2,HAO Yi?long2,LI?Ting2 |
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| Abstract: | A novel micro magnetometer based on electron tunneling is introduced.The key fabrication processes are analyzed and studied by experiments.The dissolved wafer process is used to fabricate thin films and the structures can be patterned on both sides of the films,which enhance the ability of micromachining. |
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| Keywords: | MEMS magnetometer electron tunneling |
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