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| ZZI-800型真空晶体镀膜机 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 北京仪器厂开发的 ZZI- 80 0型真空晶体镀膜机不久前成功面市。该设备用于在真空条件下 ,采用电阻式蒸发源的形式 ,对石英晶片蒸镀一层导电膜 ,通常为铬和银 ,使其形成电极 ,以便被作成各种频率的石英晶体振荡器 ,可适用于表晶晶振器和高频振器的厂家。其特点为 :(1 )整个镀膜过程是在真空、恒温、自动控制中进行的 ,保证了膜层的均匀性、一致性及膜层的牢固度。 (2 )在连续高温烘烤的环境中 ,1 8个工位的夹具连续 60°～ 1 2 0°翻转 ,夹具定位准确 ,无噪音、无卡滞现象 ,确保一次蒸镀的 60 4 8个晶片上每个被镀表面蒸镀上均匀、牢固的膜… |
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