低成本二乙基镓氯化物新工艺

日本Kojundo化学实验公司最近开发成功二乙基镓氯化物制造新工艺,它将取代三甲基镓,应用于MO—CVD(金属有机气相沉积化合物),并已有样品供半导体制造厂家使用。 Kojundo的制造方法由于工艺流程减少了一半,它的制造成本降低为原来的十分之一。