| 液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善 |
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| 引用本文： | 吴军,毛旭峰,万志远,李沛,韩福忠.液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善[J].红外技术,2014(12):973-975. |
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| 作者姓名： | 吴军 毛旭峰 万志远 李沛 韩福忠 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所,云南昆明,650223 |
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| 摘 要： | 由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手,改进水平滑舟液相外延工艺,从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性,使距薄膜边缘1.5 mm(衬底边缘2.5 mm)以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高,增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波碲镉汞材料(?1/2(77 K)=4.8?m)?x≤0.001,与国外水平相当。
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| 关 键 词： | 石墨舟 碲镉汞 组分均匀性 LPE |
Improvement of Compositional Uniformity of HgCdTe Grown by LPE |
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| WU Jun,MAO Xu-feng,WAN Zhi-yuan,LI Pei,HAN Fu-zhong.Improvement of Compositional Uniformity of HgCdTe Grown by LPE[J].Infrared Technology,2014(12):973-975. |
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| Authors: | WU Jun MAO Xu-feng WAN Zhi-yuan LI Pei HAN Fu-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | graphite slider boat cadmium mercury tellurium compositional uniformity LPE |
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