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| 抗非均匀反射扰动复色差动超分辨共焦显微传感机理研究 | |
| 摘 要： | 正项目负责人:刘俭(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托单位:哈尔滨工业大学项目批准号:509050481.项目简介针对不同材料基底、混合材料、掺杂结构以及曲面浮雕结构的微米及亚微米尺度大台阶元件三维结构参数测量传感机理问题,开展抗非均匀反射扰动特性的光学共焦传感方法研究。研究工作揭示了抗扰动特性与线性区间扩展和高灵敏度响应特性的关系,描述了复色照明线性范围与高灵敏度响应特性耦合机理,理论证明了全局最小化旁瓣抑制滤波器设计的充分必要 |
| 关 键 词： | 传感机理 共焦 超分辨 复色 旁瓣抑制 滤波器设计 项目批准号 耦合机理 微米尺度 线性区 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |