高温法淀积PbS多晶膜的化学过程 |
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引用本文: | 马波云.高温法淀积PbS多晶膜的化学过程[J].红外技术,1986(3). |
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作者姓名: | 马波云 |
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作者单位: | 昆明物理研究所 |
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摘 要: | PbS多晶膜化学淀积过程,直接关系到PbS元件的光电性能,是PbS器件制备的核心工艺。在PbS多晶膜形成的化学过程中,还伴随着其他化学反应发生。因而,除生成PbS多晶膜外,还产生其他一些化合物。如何控制其他化学反应进行的进程和程度是化学淀积PbS多晶膜工艺极为重要的任务之一。一、NaOH、Pb(CH_3COO)_2及(NH_2)_2CS溶解过程NaOH、Pb(CH_3GOO)_2及(NH_2)_2CS是高温法化学淀积PbS多晶膜的三种试剂。这三种化合物在淀积PbS多晶膜前均需溶解于水中。1.NaOH的存放和溶解
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