| 溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性 |
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| 引用本文： | 李世平,李玲. 溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性[J]. 半导体技术, 2006, 31(10): 733-737 |
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| 作者姓名： | 李世平 李玲 |
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| 作者单位： | 暨南大学,物理系光电和纳米材料实验室,广州,510632 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZAO薄膜.在氮气气氛下进行退火处理,X射线衍射(XRD)谱表明ZAO薄膜具有六角纤锌矿的晶体结构.对ZAO薄膜的光电特性进行测量,结果显示薄膜的光致发光峰发生蓝移,喇曼光谱随A1掺杂浓度的变化发生相应的改变.薄膜的电导率在Al浓度为1%,700℃退火处理时达到最高值.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 掺杂铝氧化锌薄膜 光电特性 溶胶 凝胶法 法制 薄膜 光电特性 Zinc Oxide Thin Films Doped Electrical Characteristics 掺杂浓度 电导率 变化 喇曼光谱 蓝移 发生 发光峰 显示 结果 测量 晶体结构 纤锌矿 |
| 文章编号： | 1003-353X(2006)10-0733-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-30 |
| 修稿时间： | 2006-04-30 |
Optical and Electrical Characteristics of Al Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel |
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| LI Shi-ping,LI Ling. Optical and Electrical Characteristics of Al Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel[J]. Semiconductor Technology, 2006, 31(10): 733-737 |
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| Authors: | LI Shi-ping LI Ling |
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| Affiliation: | Physical Department of Jinan University, Guangzhou 510632, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel ZAO films optical and electrical characteristics |
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