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| 半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测 | |
| 作者姓名： | 闻瑞梅 梁骏吾 邓礼生 彭永清 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法．还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法，并与其它经典的方法作了对比． |
| 关 键 词： | 生产工艺 尾气 砷 磷 硫 治理 检测 半导体材料 |
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