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| 脉冲溅射电源设计 | |
| 引用本文： | 陈文光. 脉冲溅射电源设计[J]. 新技术新工艺, 2004, 0(4): 9-11 |
| 作者姓名： | 陈文光 |
| 作者单位： | 南华大学电气工程学院,421001 |
| 摘 要： | 提出了一种用于等离子体喷溅的新型脉冲电源，从理论上分析了主电路适合等离子体溅射的原因，给出了电源的原理框图，同时也分析了溅射镀膜时发生的异常放电现象，并提出了一种全新的灭弧电路原理，实际应用证明，该电路稳定性高，工作可靠，镀膜质量好，有较大的推广价值。 |
| 关 键 词： | 等离子体 脉冲电源 灭弧 溅射 阻抗 镀膜 |
The Design of Pulse Power Supply for Sputtering |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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