反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题 |
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引用本文: | 王德荣,战余英.反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题[J].真空,1991(2):50-54. |
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作者姓名: | 王德荣 战余英 |
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作者单位: | 辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所 沈阳市 110031,沈阳市 110031,沈阳市 110031 |
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摘 要: | 本文简述了用真空集热管磁控溅射镀膜机铁制不锈钢-碳/铜选择性吸收涂层的结果。讨论了镀膜机的吸收管布置问距,涂层光学性质的均匀性等问题,并提出了改进的途径。
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关 键 词: | 溅射 镀膜 真空集热管 涂层 太阳能 |
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