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反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题
引用本文:王德荣,战余英.反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题[J].真空,1991(2):50-54.
作者姓名:王德荣  战余英
作者单位:辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所 沈阳市 110031,沈阳市 110031,沈阳市 110031
摘    要:本文简述了用真空集热管磁控溅射镀膜机铁制不锈钢-碳/铜选择性吸收涂层的结果。讨论了镀膜机的吸收管布置问距,涂层光学性质的均匀性等问题,并提出了改进的途径。

关 键 词:溅射  镀膜  真空集热管  涂层  太阳能
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