| 36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究 |
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| 引用本文： | 陈桂,王文,谢晓,何世堂.36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究[J].压电与声光,2015,37(3):377-379. |
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| 作者姓名： | 陈桂 王文 谢晓 何世堂 |
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| 作者单位： | (中国科学院声学研究所 声场声信息国家重点实验室，北京 100190) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（11074268，11274340） |
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| 摘 要： | 该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元,结合SXFA敏感膜,开展了针对甲基磷酸二甲(DMMP)的气体传感实验,分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响,并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比,实验结果显示,Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。
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| 关 键 词： | Love波 SiO2 灵敏度特性 36°YX-LiTaO3 |
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