| 高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述 |
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| 引用本文： | 寇宝泉,张鲁,邢丰,李立毅,张赫.高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述[J].中国电机工程学报,2013,33(9):79-87. |
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| 作者姓名： | 寇宝泉 张鲁 邢丰 李立毅 张赫 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院,黑龙江省哈尔滨市,150001 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项(2009ZX02207-001);新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-08-0158)~~ |
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| 摘 要： | 永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。
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| 关 键 词： | 永磁同步平面电机 光刻机 二维平面定位装置 发展趋势 |
Development of the High-performance Synchronous Permanent Magnet Planar Motor and Its Key Technologies |
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| KOU Baoquan
,
ZHANG Lu
,
XING Feng
,
LI Liyi
,
ZHANG He.Development of the High-performance Synchronous Permanent Magnet Planar Motor and Its Key Technologies[J].Proceedings of the CSEE,2013,33(9):79-87. |
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| Authors: | KOU Baoquan ZHANG Lu XING Feng LI Liyi ZHANG He |
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| Affiliation: | (School of Electrical Engineering and Automation,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,Heilongjiang Province,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | synchronous permanent magnet planar motor (SPMPM) lithography equipment two-dimensional planar positioning device development trends |
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