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激光与X射线光刻竞争
引用本文:
徐春建.激光与X射线光刻竞争[J].激光与光电子学进展,1986,23(7):41.
作者姓名:
徐春建
作者单位:
徐春建
:
摘 要:
半导体结构愈来愈小的趋势已集中至以X射线光刻作为实现此目标的最有希望的技术上。虽然X射线光刻离实际生产使用还有好多年,但对此技术已进行了大量研究。在建立实用系统的竞争中,用激光产生X射线已成为领先的技术之一。
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