| LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用 |
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| 引用本文： | 何友义. LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用[J]. 传感器与微系统, 2001, 20(12): 54-56 |
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| 作者姓名： | 何友义 |
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| 作者单位： | 番禺职业技术学院机械与电子系, |
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| 摘 要： | 介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合 ,制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例
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| 关 键 词： | 微传感器 LIGA技术 可动微结构 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)12-0054-03 |
| 修稿时间： | 2001-08-24 |
Application of LIGA process in fabrication of movable microstructures |
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| HE You yi. Application of LIGA process in fabrication of movable microstructures[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2001, 20(12): 54-56 |
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| Authors: | HE You yi |
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| Abstract: | By combining LIGA technigue with a sacrificial layer technique,the movable microstructures microsensor and a three dimensional acceleration sensor are also to be fabricated.The typical LIGA process and its applications are briefly presented. |
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| Keywords: | microsensor LIGA technique movable microstructure |
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