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1微米栅的砷化镓场效应晶体管
作者姓名:小川正毅  袁明文
摘    要:砷化镓肖特基势垒栅场效应晶体管,作为微波晶体管(简称GaAsSBFET)比现存的硅双极晶体管具有更低的噪声和更好的高频特性,而引人注目,现在正迅速付之实用。为了得到GaAsSBFET良好的高频特性,应使用电子迁移率大的好的晶片,实现寄生损耗小、栅长短的结构。特别是对缩短栅长做了很大的努力,现正在研究接触曝光、

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