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高反射率Ag-Cu纳米膜玻璃的制备与表征
引用本文:徐勇军,杨晓西,李永梅.高反射率Ag-Cu纳米膜玻璃的制备与表征[J].硅酸盐学报,2008,36(2):253-256.
作者姓名:徐勇军  杨晓西  李永梅
作者单位:东莞理工学院化学生物工程系,广东,东莞,523808
摘    要:采用磁控溅射法在玻璃基片上制备纳米Ag薄膜,并在其上镀一层Cu膜作为附着层,利用U-4100分光光度计测量纳米膜玻璃对可见光(380~780nm)和太阳光(340~1 800nm)的反射率;用Auger电子能谱仪测量膜的成分;聚焦离子束和超级扫描电子显微镜测量双层膜中单层膜的厚度.结果表明:膜厚小于110m的银膜,反射率随膜厚增加而变大,当膜厚大于110nm时,其反射率趋于一定值,附着层Cu膜对膜玻璃反射率影响不大.另外,在膜厚一定的情况下,随着玻璃厚度的增加,膜玻璃反射率逐渐减小.膜玻璃对可见光的反射率可以达到97.85%,太阳光的反射率可以达到96.74%.采用聚焦离子束和超级扫描电子显微镜相结合的方法测量多层膜中单层膜的厚度,得到了较好的结果.

关 键 词:玻璃  磁控溅射  高反射率  银-铜纳米膜
文章编号:0454-5648(2008)02-0253-04
收稿时间:2007-03-22
修稿时间:2007-09-07

PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF NANOSIZE Ag-Cu FILM GLASS WITH HIGH REFLECTIVITY
XU Yongjun,YANG Xiaoxi,LI Yongmei.PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF NANOSIZE Ag-Cu FILM GLASS WITH HIGH REFLECTIVITY[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2008,36(2):253-256.
Authors:XU Yongjun  YANG Xiaoxi  LI Yongmei
Abstract:
Keywords:glass  magnetron sputtering  high reflectivity  nanosize silver-copper films
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