首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
多晶硅钟罩旋转清洗装置研究和设计
作者姓名:
顾国宝
王世松
廖福宇
刘枢
作者单位:
昆明冶研新材料股份有限公司
摘 要:
采用改良西门子法生产多晶硅,其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本,通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题,为生产提供强有力的保障,为公司节能降耗提供措施。该研究已获得成功并已经申报专利,发明专利号为201310209212.6。
关 键 词:
多晶硅
还原炉
氢化炉
清洗装置
本文献已被
CNKI
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号