| 低辐射薄膜TiO2—Ag—TiO2—SiO的纳米尺度显微结构 |
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| 引用本文： | 詹倩 郭晓楠 等. 低辐射薄膜TiO2—Ag—TiO2—SiO的纳米尺度显微结构[J]. 金属学报, 2001, 37(4): 337-339 |
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| 作者姓名： | 詹倩 郭晓楠 等 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室，沈阳 [2]中国科学院金属研究所固体原子 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金50071063和59831020资助项目 |
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| 摘 要： | 成功地制务了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品，并对其微观结构进行TEM，HREM及纳米束EDS分析，结果表明，薄膜各层厚度均匀，界面明锐、光滑。Ag层由纳米晶组成，而TiO2和SiO层为非晶。Ag在膜层中没有扩散或聚团，这也正是保证整个薄膜性能指标的一一个重要因素。
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| 关 键 词： | 低辐射薄膜 微观结构 HREM 纳米束分析 |
| 文章编号： | 0412-1961(2001)04-0337-03 |
| 修稿时间： | 2000-09-12 |
Microstructure Studies of TiO2-Ag-TiO2-SiO Low-EmissivityFilms at Nanometer Scale |
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