阴极真空蝕刻

本文介紹了自制的阴极真空蝕刻仪的构造、操作、蝕刻条件及影响因素。对几种金属进行了蝕刻試驗,制备了复型,并与化学蝕刻結果作了比較,最后对設备性能作了討論。