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利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数
引用本文:刘友婴,李望,展振宗,魏保安,刘宝英.利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数[J].真空科学与技术学报,1990(3).
作者姓名:刘友婴  李望  展振宗  魏保安  刘宝英
作者单位:南开大学电子科学系,理化工程研究院,理化工程研究院,天津一轻局职工大学,南开大学电子科学系 天津,天津,天津
摘    要:本文利用俄歇电子能谱(PHI-550)测得了经过不同时间间隔热处理的Au-Cu系统中铜在金薄膜内的浓度剖面。根据铜的浓度斟面及Hall公式,我们使用了两种方法——“中心梯度法”及“平坦区上升法”计算出Au-Cu系统的互扩散系数以及晶界扩散系数。本文还对上述计算结果进行了讨论。

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