利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数 |
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引用本文: | 刘友婴,李望,展振宗,魏保安,刘宝英.利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数[J].真空科学与技术学报,1990(3). |
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作者姓名: | 刘友婴 李望 展振宗 魏保安 刘宝英 |
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作者单位: | 南开大学电子科学系,理化工程研究院,理化工程研究院,天津一轻局职工大学,南开大学电子科学系 天津,天津,天津 |
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摘 要: | 本文利用俄歇电子能谱(PHI-550)测得了经过不同时间间隔热处理的Au-Cu系统中铜在金薄膜内的浓度剖面。根据铜的浓度斟面及Hall公式,我们使用了两种方法——“中心梯度法”及“平坦区上升法”计算出Au-Cu系统的互扩散系数以及晶界扩散系数。本文还对上述计算结果进行了讨论。
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