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生成碳化钛薄膜的新技术
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摘    要:具有高硬度的碳化钛常被用来处理切削刀具的切口。但是碳化钛的熔点高达 30 0 0℃ ,熔点较低的金属零件表面就无法用它涂覆。美国伊利诺斯大学的科学家通过试验发现 ,在真空条件下 ,用四价钛通过沉积法可以在金属零件表面生成非晶态碳化钛薄膜 ,所需温度只有 2 5 0℃ ,而这样处理过的零件表面特性与在高温下形成的涂层完全一样 ,具有良好的耐磨和抗腐蚀性能。生成碳化钛薄膜的新技术

关 键 词:碳化钛 薄膜 切削 刀具 沉积 涂层
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